硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷?！　　　」柰榈膽谩　?，高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產(chǎn)太陽能薄膜電池將硅分子附著于電池表面2，跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產(chǎn)　　3，高純硅烷應用于大規(guī)模集成電路的外延生長工藝中用作硅源,　　4，應用于國防、軍事工業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)　　5，硅烷在平板顯示生產(chǎn)中也有重要的用途,　　6，用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD　　硅烷操作說明　　用一個減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶內(nèi)釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分?！　∈褂梅阑鸹üぞ摺２灰噲D對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調(diào)節(jié)或其他改動?！　∮脷潆x子檢測器監(jiān)測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監(jiān)測器監(jiān)測火災 。所以的監(jiān)測器都應有內(nèi)鎖，一旦發(fā)現(xiàn)問題立即自動切斷硅烷氣源?！　∪绻霈F(xiàn)故障或其他操作問題，請立即與最近的分銷商聯(lián)系?！　」柰橄到y(tǒng)中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統(tǒng)中應安裝過流閥或過流開關(guān)。這樣可以在下游管線發(fā)生爆炸時切斷氣源。這個開關(guān)閥應安裝得離氣源越近越好?！　∪缬锌赡軕苊鈫为氁粋€人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行,一旦發(fā)生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到?！　”O(jiān)測系統(tǒng)應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關(guān)，必要時可關(guān)閉硅烷氣源?！　∫欢ú灰?、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態(tài)。　　不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內(nèi)。 否則會損壞閥門并引起泄漏?！　∫坏╀撈颗c吹掃和鈍化過的系統(tǒng)連接好，應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應商聯(lián)系?！　∈褂每烧{(diào)節(jié)的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關(guān)設備接地。電器設備必須防火花和防爆。